核心業務：半導體設備關鍵備品耗材生產與關鍵模組維修服務
里程碑：
103年11月 備品耗材服務事業處成立
106年10月 獲准進入新竹科學園區竹南基地
109年10月 新建二廠動土典禮
109年12月 成為保稅工廠
產品品項：
1. 各式半導體製程之氣流整流器與濺鍍瞄準器
2. 化學機械研磨頭維修服務