技术介绍 通过工艺及刀具等的控制对材料进行加工，实现对孔洞尺寸，形状及孔内光洁度的控制，满足不同的应用需求。 技术特点 ‧ 最小孔径0.012inch，孔径公差±0.0005inch，同轴度0.001inch，真圆度0.0008inch ‧ 孔特征：一阶、二阶、三阶、四阶孔 ‧ 孔内面粗度：<0.4μm ‧ 最大长径比：40 应用 应用于薄膜沉积工艺、刻蚀工艺、清洗工艺
技术介绍 复杂结构精密零件制造技术是针对具有多层结构、复杂水道/气道等不规则形状工件、大尺寸腔体，透过先进加工工艺，实现高表面品质、高精密加工 技术特点 ‧ 大型工件 6000x4000x1400 mm Max ‧ 高精位置度：0.05mm ‧ 侧壁转接头加工：伸出深度:200 mmMax，刀具直径：25mm Max，精度：0.02mm 应用 应用于传输腔、反应腔等