京鼎集團
制造服务

先进设备制造事业处

介紹

京鼎集团的核心事业处,始终致力于半导体设备代工,连续多年获选供应商品质第一。

自2001年以来,京鼎对于先进技术与精良品质的追求,使产品的精度、稳定性与可靠性远远领先同行业者,深受客户肯定与信任。产品从零组件加工、真空腔体、次系统模组,到整机组装,设备涵盖半导体的前段制程与后段封测,体现京鼎生产技术的垂直整合能力。

秉持着全面品质、永续经营的生产精神和服务理念,京鼎持续进行技术创新,以因应市场脉动、满足客户需求,并协同客户赢得巨大市场。

制程与产品

薄膜制程

薄膜制程(Thin Film Process)是晶圆加工的基础,依据元件需求,在晶圆表面镀上一层层功能各异的薄膜。

京鼎生产的设备模组与零组件,其应用领域涵盖三大薄膜制程:

1. 化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)

2. 物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)

3. 原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)

零组件包含可达高真空度的真空腔体(vacuum chamber)、存放反应气体的气箱(gasbox)、将反应气流导入腔体的气体扩散板(showerhead)、密封真空腔体的顶盖(chamber lid)等。另外也依客户需求,组装薄膜制程机台模组,以利客户端设备整合。 京鼎高品质的零组件,能同步提高薄膜沉积的均匀性与晶片良率。

气体分布组件: 精确且可靠的气体分布是半导体制造中保障工艺稳定性、重复性及设备运行可靠性的基础。京鼎具备高精度气体分布类零组件的制造能力,包括适用于真空及工艺环境的关键结构部件,以满足半导体及先进制造设备对精度、洁净度与结构可靠性的要求。


蚀刻

蚀刻(Etching)是透过化学溶剂或电浆,将各层薄膜材料选择性移除的过程。

从机台骨架、真空腔体、电浆蚀刻的电极装置(Cathode),到整合指令与控制的模组设备,京鼎都能以客户的制程要求,生产对应的产品组合,实现优异的蚀刻轮廓控制。


化学机械研磨

化学机械研磨(Chemical-Mechanical Planarization, CMP)将晶圆表面粗糙处以研磨液磨除,增加其平坦度,以利后续电路制作的进行。

京鼎生产的零组件,包含研磨头与组装塑料零件等产品。

制程转换与控制

晶圆转移

半导体各制程间的转换,仰赖自动化的晶圆转移系统(Wafer Handling System)以及真空环境的维持。

其中搬运晶圆的机械手臂(robot wrist)、供晶圆传输的真空腔体(transfer chamber),以及在制程设备间输送气体的管路(gasline)等,皆属于京鼎的产品范畴。


冷却装置

应用于电浆增强化学气相沉积(Plasma-Enhanced CVD,PECVD)的制程温度控制。 PECVD 允许在低温的环境下生长薄膜,故被广泛应用于半导体制程。

京鼎生产的装置涵盖冷却平台(cooling plate)、冷却中轴(cooling hub)、冷却接合器(cooling adapter),与水冷部件(input/output manifold)等。