薄膜制程
薄膜制程(Thin Film Process)是晶圆加工的基础,依据元件需求,在晶圆表面镀上一层层功能各异的薄膜。
京鼎生产的设备模组与零组件,其应用领域涵盖三大薄膜制程:
1. 化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)
2. 物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)
3. 原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)
零组件包含可达高真空度的真空腔体(vacuum chamber)、存放反应气体的气箱(gasbox)、将反应气流导入腔体的气体扩散板(showerhead)、密封真空腔体的顶盖(chamber lid)等。另外也依客户需求,组装薄膜制程机台模组,以利客户端设备整合。
京鼎高品质的零组件,能同步提高薄膜沉积的均匀性与晶片良率。
气体分布组件:
精确且可靠的气体分布是半导体制造中保障工艺稳定性、重复性及设备运行可靠性的基础。京鼎具备高精度气体分布类零组件的制造能力,包括适用于真空及工艺环境的关键结构部件,以满足半导体及先进制造设备对精度、洁净度与结构可靠性的要求。