วงจรเรียงกระแสการไหลของอากาศและเครื่องเล็งสปัตเตอร์สำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ
ตัวเรียงกระแสการไหลของอากาศและตัวเล็งสปัตเตอร์ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เป็นพื้นฐานของการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ ตามข้อกำหนดของส่วนประกอบ ชั้นของฟิล์มที่มีฟังก์ชันต่างกันจะถูกเคลือบบนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์
ชิ้นส่วนอะไหล่และวัสดุสิ้นเปลืองที่สำคัญผลิตโดยเครือจิงติ่งสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ครอบคลุมวงจรเรียงกระแสลมและฉากสปัตเตอร์ที่แตกต่างกันห้าประเภท:
1. การสะสมของฉนวนไฟฟ้า-วงจรเรียงกระแสการไหลของอากาศ-12" (300 mm)
2. การสะสมไอทางกายภาพ - สปัตเตอร์สายตา
3. เครื่องปรับการไหลของอากาศ-การแกะสลักหัวกะทิสูง-12" (300 mm)
4. สารปรับปรุงความสม่ำเสมอของเยื่อบุผิว-12" (300 mm)
5. ตัวเรียงกระแสการตกสะสมของชั้นอะตอม-แก๊ส 12" (300 mm)