กลุ่มธุรกิจการผลิตและให้บริการด้านอุปกรณ์

กระบวนการฟิล์มบาง

กระบวนการฟิล์มบางเป็นพื้นฐานของการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ ตามข้อกำหนดของส่วนประกอบ ชั้นของฟิล์มที่มีฟังก์ชันต่างกันจะถูกเคลือบบนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์

ขอบเขตการใช้งานของโมดูลอุปกรณ์และส่วนประกอบที่ผลิตโดย เครือจิงติ่งครอบคลุมกระบวนการผลิตฟิล์มหลัก 3 ประการ:

1. การสะสมไอสารเคมี (CVD)

2. การสะสมไอทางกายภาพ (PVD)

3. การสะสมชั้นอะตอม (ALD)

ส่วนประกอบต่างๆ ได้แก่ ห้องสุญญากาศที่สามารถบรรลุสุญญากาศสูง กล่องแก๊สสำหรับเก็บก๊าซปฏิกิริยา แผ่นกระจายก๊าซที่แนะนำการไหลของก๊าซปฏิกิริยาเข้าไปในห้อง และฝาปิดด้านบนที่ปิดผนึกฝาห้องสุญญากาศ) เป็นต้น นอกจากนี้เรายังประกอบโมดูลเครื่องแปรรูปฟิล์มบางตามความต้องการของลูกค้าเพื่ออำนวยความสะดวกในการรวมอุปกรณ์ของลูกค้า ส่วนประกอบคุณภาพสูงของ เครือจิงติ่ง สามารถปรับปรุงความสม่ำเสมอของการสะสมของฟิล์มและผลผลิตเวเฟอร์ไปพร้อมๆ กัน

การขัดเชิงกลด้วยสารเคมี

การปรับระนาบทางเคมี-เครื่องกล (CMP) ใช้ของเหลวที่มีฤทธิ์กัดกร่อนเพื่อขจัดพื้นที่หยาบบนพื้นผิวเวเฟอร์ เพื่อเพิ่มความเรียบเพื่ออำนวยความสะดวกในการผลิตวงจรในภายหลัง

ส่วนประกอบที่ผลิตโดย เครือจิงติ่ง ได้แก่ หัวเจียรและชิ้นส่วนพลาสติกที่ประกอบขึ้น