ฝ่ายพัฒนาธุรกิจอุปกรณ์อัจฉริยะ

เครื่องคัดแยกเวเฟอร์

1. ฟังก์ชั่น:
1. ฟีดเวเฟอร์จะถูกถ่ายโอนจากกล่องขนส่ง (FOSB) ไปยังกล่องเวเฟอร์กระบวนการ (FOUP)
2. ถ่ายโอน จัดระเบียบและจัดเรียงเวเฟอร์ระหว่างกล่องเวเฟอร์ต่างๆ
3. ตามข้อกำหนดของกระบวนการRecipe ให้อ่านหมายเลขเครื่องหมายเวเฟอร์ จัดเรียง แบทช์ ผสานหรือถ่ายโอนไปยังตำแหน่งกล่องเวเฟอร์ที่กำหนดตามหมายเลขเครื่องหมาย

2. สเปค:
1. ประมวลผลเวเฟอร์มากกว่า 600 ชิ้นต่อชั่วโมง
2. อ่านเครื่องหมายเวเฟอร์ทั้งสองด้าน
3. ความแม่นยำในการถ่ายโอนฟิล์ม ±0.05 มม
4. ความสะอาด ISO Class 3 (FED-STD-209E Class 1)
5. เข้ากันได้กับเวเฟอร์ซิลิกอนขนาด 8 นิ้ว และ 12 นิ้ว เวเฟอร์แก้ว และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์แบบผสม

คอมโพสิตเวเฟอร์ซ้อนกล่องบรรจุภัณฑ์แกะและคัดแยกอุปกรณ์

1. ฟังก์ชั่น:
1. เวเฟอร์ซ้อนกล่องบรรจุภัณฑ์และแกะเครื่องและระบบคัดแยกเวเฟอร์แบบสองในหนึ่ง
2. โหลดและเปิดกล่องซ้อนเวเฟอร์โดยอัตโนมัติ แกะและนำเวเฟอร์และวัสดุบัฟเฟอร์แต่ละชั้นออก
3. อ่านหมายเลขเครื่องหมายเวเฟอร์ จัดเรียง แบทช์ ผสาน หรือถ่ายโอนไปยังตำแหน่งกล่องเวเฟอร์ที่กำหนดตามหมายเลขเครื่องหมาย
4. ซ้อนเวเฟอร์และวัสดุบัฟเฟอร์แต่ละชั้นแล้วบรรจุลงในกล่องซ้อนเวเฟอร์ ล็อคกล่องซ้อนเวเฟอร์แล้วโหลดออกโดยอัตโนมัติ

2. สเปค:
1. เซ็นเซอร์ออปติคอลหลายตัวระบุแผ่นเวเฟอร์และแต่ละชั้นของวัสดุบัฟเฟอร์และโฟมโดยอัตโนมัติ
2. ประมวลผลเวเฟอร์มากกว่า 500 ชิ้นต่อชั่วโมง
3. ความสะอาด ISO Class 3 (FED-STD-209E Class 1)

อุปกรณ์ถ่ายโอนหน้ากาก

1. ฟังก์ชั่น:
1. โหลดและเปิดกล่องมาสก์โดยอัตโนมัติและเข้าถึงมาสก์
2. แขนหุ่นยนต์จะเคลื่อนหน้ากากระหว่างกล่องหน้ากากแต่ละกล่องโดยอัตโนมัติ
3. ระบุหน้ากากโดยอัตโนมัติและหมุนทิศทางของหน้ากากตามกระบวนการ

2. สเปค:
1. มีพอร์ตโหลดกล่องมาสก์ 3 พอร์ต ซึ่งสามารถจัดการกล่องมาส์ก 3 กล่องที่แตกต่างกันได้ในเวลาเดียวกัน
2. ความสามารถในการควบคุมสภาพแวดล้อมที่สะอาดเป็นพิเศษถึงขนาดอนุภาค 30 nm
3. ฟังก์ชั่นเติมไนโตรเจนในตัวสำหรับกล่องมาส์ก ความจุการเติม 10 LPM
4. ความสะอาด ISO Class 2 (FED-STD-209E Class 0.1)